[发明专利]氧化物蒸镀材料和高折射率透明膜有效
申请号: | 201010583539.6 | 申请日: | 2010-12-07 |
公开(公告)号: | CN102134700A | 公开(公告)日: | 2011-07-27 |
发明(设计)人: | 阿部能之;和气理一郎;桑原正和;前野泰行 | 申请(专利权)人: | 住友金属矿山株式会社 |
主分类号: | C23C14/08 | 分类号: | C23C14/08;C23C14/24;G02B1/11;G02B11/00 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 菅兴成;吴小瑛 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的氧化物蒸镀材料,其特征在于,由以氧化铟作为主要成分且铈含量以Ce/In原子数比为超过0.110且为0.538以下的烧结体构成,CIE1976色系中的L*值为62~95。由于L*值为62~95的上述氧化物蒸镀材料具有最佳氧量,因此,即使向成膜真空槽中的氧气导入量少,也能够以真空蒸镀法制造出波长550nm下的折射率为2.15~2.51的、低电阻且可见光~近红外光区域中为高透过性的高折射率透明膜,并且,由于氧气导入量少,所以能够减小膜与蒸镀材料之间的组成偏差。 | ||
搜索关键词: | 氧化物 材料 折射率 透明 | ||
【主权项】:
一种氧化物蒸镀材料,其特征在于,由以氧化铟作为主要成分且含有铈的烧结体构成,并且,铈的含量以Ce/In原子数比为超过0.110且0.538以下,CIE1976色系中的L*值为62~95。
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