[发明专利]一种二维位置跟踪测量装置及其测量方法

摘要

本发明属于测量领域，具体地说是一种二维位置跟踪测量装置及其测量方法，装置包括干涉仪本体、干涉计镜组、偏差检测系统、随动系统、转向元件及目标反射镜，偏差检测系统包括分光元件及光斑位置传感器；方法为干涉仪本体发射的激光依次通过干涉计镜组、分光元件，经转向元件转向后照射到目标反射镜上，目标反射镜反射的光经转向元件转向后照射到分光元件上、分为两路，一路反射回干涉仪本体，另一路照射在光斑位置传感器上；由光斑位置传感器检测出偏移量，再将检测出的偏移量转换成位移信号后传递给伺服电机，由伺服电机驱动转向元件移动，使转向元件准确跟踪目标反射镜。本发明测量精度高，结构简单，便携性好；测量方法简单，可靠性强。

主权项

一种二维位置跟踪测量装置，其特征在于：包括干涉仪本体(1)、干涉计镜组(2)、偏差检测系统(3)、随动系统(4)、转向元件(5)及目标反射镜(6)，其中干涉仪本体(1)、偏差检测系统(3)及随动系统(4)分别安装在支撑件(7)上，目标反射镜(6)安装在被测机器人(8)的末端执行器上，干涉仪本体(1)的激光输出端设有干涉计镜组(2)，所述转向元件(5)安装在随动系统(4)上，可平行于激光光路(9)往复移动；所述偏差检测系统(3)包括分光元件(301)及光斑位置传感器(302)，干涉仪本体(1)发射的激光光路依次通过干涉计镜组(2)、分光元件(301)，经转向元件(5)转向后照射到目标反射镜(6)上，目标反射镜(6)反射的光经转向元件(5)转向后照射到偏差检测系统(3)上，通过分光元件(301)分为两路，一路反射回干涉仪本体(1)，另一路照射在光斑位置传感器(302)上。