[发明专利]化学液存储设备及化学液存储及分配控制方法

摘要

本发明公开了一种化学液存储设备及化学液存储及分配控制方法，该设备包括：若干化学液存储器、化学液保护装置、以及控制器，化学液保护装置包括：气体输送管路，与化学液存储器连接；化学液输送管路，与化学液存储器连接；化学液分配管路，与化学液存储器连接；每个化学液存储器的侧壁上不同高度处均设置有若干液位传感器；控制器，与各管路及液位传感器均相连，控制各管路的通断，以及检测化学液液位。本发明的设备及方法可对多个化学液存储器内的液体进行动态保护，随着化学液使用过程中液位的上升和下降，可保持存储器中化学液上空的气体处于动态平衡，且结构简单，操作容易。

主权项

一种化学液存储设备，该设备包括若干化学液存储器、化学液保护装置、以及控制器，其特征在于，所述化学液保护装置包括：气体输送管路，与所述若干化学液存储器连接，用于输送气体至所述若干化学液存储器中，并将多余的气体从排气装置排出；化学液输送管路，与所述若干化学液存储器连接，用于输送化学液至所述若干化学液存储器中；化学液分配管路，与所述若干化学液存储器连接，用于分配存储于所述若干化学液存储器中的化学液；每个所述化学液存储器的侧壁上不同高度处均设置有若干液位传感器；控制器，与所述气体输送管路、化学液输送管路、化学液分配管路、以及每个液位传感器均相连，用于控制各管路的通断，以及检测化学液液位。