[发明专利]固体摄像装置及其制造方法

摘要

本发明的背光型固体摄像装置，在半导体基体上具备配置有多个单位像素的摄像区域，上述单位像素包括光电变换部和信号扫描电路部，在与形成有上述信号扫描电路部的上述半导体基体的表面相反侧的基体表面上形成光照射面，上述单位像素具备高灵敏度像素和低灵敏度像素，该低灵敏度像素的光灵敏度比上述高灵敏度像素低，上述高灵敏度像素和上述低灵敏度像素在上述半导体基体中的上述光照射面侧，具有为了分离像素而配置的第一像素分离层，在上述光照射面侧的上述半导体基体中，上述高灵敏度像素的上述第一像素分离层之间的开口比上述低灵敏度像素的上述第一像素分离层之间的开口大。

主权项

一种背光型固体摄像装置，在半导体基体上具备配置有多个单位像素的摄像区域，上述单位像素包括光电变换部和信号扫描电路部，在与形成有上述信号扫描电路部的上述半导体基体的表面相反侧的基体表面上形成光照射面，其特征在于，上述单位像素具备高灵敏度像素和低灵敏度像素，该低灵敏度像素的光灵敏度比上述高灵敏度像素低，上述高灵敏度像素和上述低灵敏度像素在上述半导体基体中的上述光照射面侧，具有为了分离像素而配置的第一像素分离层，在上述光照射面侧的上述半导体基体中，上述高灵敏度像素的上述第一像素分离层之间的开口比上述低灵敏度像素的上述第一像素分离层之间的开口大。