[发明专利]吸附垫片有效
申请号: | 201010591675.X | 申请日: | 2010-12-16 |
公开(公告)号: | CN102528655A | 公开(公告)日: | 2012-07-04 |
发明(设计)人: | 冯崇智;姚伊蓬;王良光;吴文杰;刘玮得 | 申请(专利权)人: | 三芳化学工业股份有限公司 |
主分类号: | B24B41/06 | 分类号: | B24B41/06 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陈小雯 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明涉及一种吸附垫片,其包括一垫片本体。该垫片本体具有一上表面、多个发泡孔洞及多个表面孔洞或至少一沟槽。该上表面用以吸附一基材。多个发泡孔洞位于该垫片本体的内部。多个表面孔洞或该沟槽开口于该上表面,但与多个发泡孔洞互不连通,多个表面孔洞或该沟槽是加工而成,且排列成至少一图案。由此,可减少该基材从该吸附垫片取下的时间。 | ||
搜索关键词: | 吸附 垫片 | ||
【主权项】:
一种吸附垫片,包括:垫片本体,具有上表面、下表面、多个发泡孔洞及多个表面孔洞,该上表面用以吸附一基材,多个发泡孔洞位于该垫片本体的内部,多个表面孔洞开口于该上表面,彼此独立不连通,多个表面孔洞与多个发泡孔洞互不连通,多个表面孔洞是加工而成,且排列成至少一图案。
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