[发明专利]半导体生产线投料控制方法

摘要

一种半导体生产线投料控制方法，采用模糊Petri网技术进行生产线在线投料控制，包括构建投料模糊Petri网推理模型；构建半导体生产线在线投料机制；模糊Petri网模型参数设置；通过对实际半导体生产系统不确定性事件，明确投料Petri网模型的模糊推理条件库所集；通过明确推理条件下得到的结论，确定投料Petri网推理结论库所集；同时通过提炼积累投料决策规则，汇总推理规则集；建立投料模糊Petri网推理模型；利用投料模糊Petri网推理模型进行周期性决策判定；一旦意外事件发生，则立即启动该模型，根据各结论库所的可信度，判定是否修改并自行修改投料计划；本发明设计过程简单，容易实现，鲁棒性好。使半导体生产线效率提高，预知能力增强，整体性能得到相应改善。

主权项

一种半导体生产线投料控制方法，采用模糊Petri网技术进行生产线在线投料控制，其特征包含以下步骤：步骤1：构建投料模糊Petri网推理模型；步骤2：构建半导体生产线在线投料机制；步骤3：模糊Petri网模型参数设置；所述的步骤1包括：1.1.通过对实际半导体生产系统不确定性事件，明确投料Petri网模型的模糊推理条件库所集；1.2.通过明确推理条件下得到的结论，确定投料Petri网推理结论库所集；1.3.通过提炼积累投料决策规则，汇总推理规则集；1.3.1.如果生产线WIP高于瓶颈设备满负荷时设定值，则降低当前的投料速率；1.3.2.如果生产线WIP低于平瓶颈设备满负荷时设定值，则增加当前的投料速率；1.3.3.如果生产线瓶颈设备利用率高于设定值，则降低当前的投料速率；1.3.4.如果生产线瓶颈设备利用率低于设定值，则增加当前的投料速率；1.3.5.如果有紧急订单，则降低当前的投料速率；1.3.6.如果生产线返工量高于当前设定值，则降低当前的投料速率；1.3.7.如果瓶颈设备发生故障，则降低当前的投料速率；1.4.建立投料模糊Petri网推理模型；所述的步骤2利用投料模糊Petri网推理模型进行周期性决策判定；一旦意外事件发生，则立即启动该模型，根据各结论库所的可信度，判定是否修改并自行修改投料计划；所述的步骤3包含：I/O参数、库所/变迁的阈值γ/τ、初始标识S0、S0参数设置的过程；通过合适的隶属函数将瓶颈设备故障的特征、生产线WIP的数值的高低、缓冲区工件队列的长短以及紧急订单的变化状态，通过推理条件模糊化后对应于模糊Petri网模型库所元素的初始标识；通过隶属函数将模糊化后的推理条件对应于模糊Petri网模型库所元素的初始标识；模糊Petri网模型的库所包含条件库所和结论库所，结论库所的初始标识均为0。