[发明专利]双波长高反射镜反射率测量方法有效

专利信息
申请号: 201010593093.5 申请日: 2010-12-08
公开(公告)号: CN102128715A 公开(公告)日: 2011-07-20
发明(设计)人: 李斌成;曲哲超;韩艳玲 申请(专利权)人: 中国科学院光电技术研究所
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02
代理公司: 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 代理人: 卢纪
地址: 610209 *** 国省代码: 四川;51
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摘要: 双波长高反射镜反射率测量方法,将光强周期性调制的两个不同波长的连续激光同时注入由两块或三块双波长高反射镜构成的稳定初始光学谐振腔,当初始光学谐振腔输出信号幅值高于设定阈值时,关断入射激光束,记录光腔衰荡信号;或者在调制信号的下降沿记录光腔衰荡信号,并利用同时测量法或分光探测法或交替测量法得到初始光学谐振腔在两激光波长处的衰荡时间τ01、τ02,计算出腔镜在两波长处的平均反射率R01、R02;同样,在初始光学谐振腔内根据使用角度加入待测双波长高反射镜构成稳定的测试光学谐振腔,利用同时测量法或分光探测法或交替测量法得到测试光学谐振腔情况下两激光波长的衰荡时间τ1、τ2,得到待测双波长高反射镜在两波长处的反射率R1、R2。
搜索关键词: 波长 反射 反射率 测量方法
【主权项】:
双波长高反射镜反射率测量方法,其特征在于实现步骤如下:(1)将光强周期性调制的两个不同波长的连续激光同时入射到初始光学谐振腔;所述初始光学谐振腔由两块相同的平凹双波长高反射镜凹面相对垂直于光轴放置组成,入射光从第一块平凹双波长高反射镜中心透过后垂直入射到第二块平凹双波长高反射镜;或初始光学谐振腔由两块相同的平凹双波长高反射镜和一块平面双波长高反射镜构成,平面高反射镜为入射腔镜且倾斜于光轴放置,入射激光束从该平面高反射镜透射后垂直入射到垂直于光轴放置的第一块平凹高反射镜,激光束被第一块平凹高反射镜反射后按原路返回至平面高反射镜,然后又被平面高反射镜再次反射,反射光垂直入射到第二块平凹高反射镜;(2)从所述初始光学谐振腔的两个双波长高反射镜透射的两不同波长的激光由聚焦透镜聚焦到光电探测器,光电探测器探测初始光学谐振腔的光腔衰荡信号,当初始光学谐振腔的光腔衰荡信号幅值超过设定阈值时,触发关断入射激光束,记录初始光学谐振腔的光腔衰荡信号,或者在调制信号的下降沿记录初始光学谐振腔的光腔衰荡信号,利用同时测量法或分光探测法或交替测量法得到初始光学谐振腔在两激光波长处的衰荡时间τ01、τ02,进而得到双波长高反射腔镜在两波长处的平均反射率R01、R02;(3)在初始光学谐振腔内根据待测双波长高反射镜的使用角度加入待测双波长高反射镜,构成测试光学谐振腔;所述测试光学谐振腔的构成为:入射光从初始光学谐振腔中第一块平凹双波长高反射镜中心进入,保持第一块平凹双波长高反射镜位置不动,在两平凹双波长高反射镜之间加入待测双波长高反射镜,激光束透过第一块平凹双波长高反射镜后入射到待测双波长高反射镜,入射角为双波长高反射镜使用角度,改变第二块平凹双波长高反射镜的位置使从待测双波长高反射镜反射的激光束垂直入射到第二块平凹双波长高反射镜,构成测试光学谐振腔;或测试光学谐振腔的构成为:平面双波长高反射镜为入射腔镜且倾斜于光轴放置,入射激光束从该平面双波长高反射镜透射后垂直入射到垂直于光轴放置的第一块平凹双波长高反射镜,激光束被第一块平凹双波长高反射镜反射后按原光路返回至平面双波长高反射镜,然后又被平面双波长高反射镜再次反射,反射光垂直入射到第二块平凹双波长高反射镜;在初始光学谐振腔的第二块平凹双波长高反射镜和平面双波长高反射镜之间插入待测双波长高反射镜,入射激光束透过平面双波长高反射镜后,先后经过第一块平凹双波长高反射镜和平面双波长高反射镜后,入射到待测双波长高反射镜,入射角为待测双波长高反射镜使用角度,从待测双波长高反射镜反射的激光束垂直入射到第二块平凹双波长高反射镜,构成测试光学谐振腔;(4)从输出双波长高反射腔镜透射的两不同波长的激光由聚焦透镜聚焦到光电探测器,光电探测器探测光腔衰荡信号,当测试光学谐振腔输出光腔衰荡信号幅值超过设定阈值时,触发关断入射激光束,记录测试光学谐振腔的光腔衰荡信号,或者在调制信号的下降沿记录测试光学谐振腔的光腔衰荡信号,利用同时测量法或分光探测法或交替测量法得到测试光学谐振腔在两激光波长处的衰荡时间τ1、τ2,通过计算得待测双波长高反射镜在两波长处的反射率R1、R2。
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