[发明专利]一种用于静电吸盘的多通道射频滤波器有效
| 申请号： | 201010593682.3 | 申请日： | 2010-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN102545816A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 倪图强 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H03H7/01 | 分类号： | H03H7/01 |
| 代理公司： | 上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 | 代理人： | 张静洁;徐雯琼 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用于静电吸盘的多通道射频滤波器，将多个电感滤波线圈整合在同一个多层绕组中，有效减少了整个滤波系统的设置空间。通过其中相互绝缘的多个导线通道，为对应传输的相位频率相同的传感器检测信号或温控电源分别滤波后，输出至若干加热元件上；也可以利用其中一些导线通道，传输直流的吸持电源到介电层的电极。由于在多层绕组结构的封装部件中，对应穿设多根导线的通道位置固定，或是由于多根导线是一起绕制的，使形成的多个电感滤波线圈形状相同，因而能够在多个电感滤波线圈上获得一致的滤波效果，也减少了电弧发生的可能，提高了静电吸盘工作的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 静电 吸盘 通道 射频 滤波器 | ||
【主权项】：
一种用于静电吸盘的多通道射频滤波器，其特征在于，所述多通道射频滤波器包含整合在同一个多层绕组（10）中并可独立工作的若干电感滤波线圈。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中微半导体设备（上海）有限公司，未经中微半导体设备（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010593682.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种电池组充电装置
- 下一篇：太阳能便携设备充电器
