[发明专利]减少激光光谱系统的光学系统中产生的条纹干涉的设备

摘要

本发明提供了一种用于减小在激光光谱系统的光学系统中产生的条纹干涉的设备。该已知的设备包括执行机构(14)，其用于沿激光路径产生所述光学系统(3)的光学元件(1)的物理直线振动(x)；以及控制装置(23)，其用于控制所述振动(x)的幅值和频率。为了尤其利用较长的波长来提高降低条纹干涉的能力而提出，执行机构(14)是电磁类型的，光学元件(1)布置在悬臂体(9)上，所述悬臂体在一端(10)经由弯曲支枢(12)连接至基座(11)，以及在另一自由端(13)耦合至电磁执行机构(14)，以及控制装置(23)包括：控制器(24)，其控制振动(x)的幅值；以及振动传感器(18)，其连接至悬臂体(9)并向控制器(24)提供实际振动值(19)。

主权项

一种用于减小在激光光谱系统的光学系统(3)中产生的条纹干涉的设备，所述设备包括：执行机构(14)，其用于沿激光路径产生所述光学系统(3)的光学元件(1)的物理直线振动(x)；以及控制装置(23)，其用于控制所述振动(x)的幅值和频率，其特征在于，所述执行机构是电磁类型的，所述光学元件(1)布置在悬臂体(9)上，所述悬臂体在一端(10)经由弯曲支枢(12)连接至基座(11)，以及在另一自由端(13)耦合至电磁执行机构(14)，以及所述控制装置(23)包括：控制器(24)，其控制所述振动(x)的幅值；以及振动传感器(18)，其连接至所述悬臂体(9)并向所述控制器(24)提供实际振动值(19)。