[发明专利]一种高压电响应氧化锌柔性压力传感器及其制备方法无效
| 申请号： | 201010597243.X | 申请日： | 2010-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN102163687A | 公开（公告）日： | 2011-08-24 |
| 发明（设计）人： | 曾飞;杨晶;潘峰 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H01L41/083 | 分类号： | H01L41/083;H01L41/18;H01L41/047;H01L41/053;G01L1/16;H01L41/22 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 罗文群 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高压电响应氧化锌柔性压力传感器及其制备方法，属于压电材料技术领域。本传感器中，上电极、氧化锌掺杂层、下电极和柔性基底依次自上而下相叠而成，上电极厚度为50～100纳米，氧化锌掺杂层的厚度为80～120纳米，下电极的厚度为40～80纳米，柔性基底的厚度为0.05～0.1毫米。本发明采用磁控溅射和直流溅射的方法沉积得到各种膜层。本发明方法制备的传感器，由于在氧化锌中掺杂了钒或铁等不同金属元素，因此可以获得高灵敏度的压力传感器，并提高了压力测量的稳定性和可靠性。本发明的传感器中的柔性材质还可应用于表面不规则物体的压力测量，而且随意弯折会使传感器的携带更为便捷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高压电 响应 氧化锌 柔性 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种高压电响应氧化锌柔性压力传感器，其特征在于该压力传感器包括上电极、氧化锌掺杂层、下电极、柔性基底和导线；所述的上电极、氧化锌掺杂层、下电极和柔性基底依次自上而下相叠而成，所述的上电极厚度为50～100纳米，所述的氧化锌掺杂层的厚度为80～120纳米，所述的下电极的厚度为40～80纳米，所述的柔性基底的厚度为0.05～0.1毫米，所述的导线分别与上电极和下电极相连。
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