[发明专利]电涡流传感器有效
| 申请号： | 201010598232.3 | 申请日： | 2010-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN102022971A | 公开（公告）日： | 2011-04-20 |
| 发明（设计）人： | 路新春;沈攀 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06;G01B7/28 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋合成 |
| 地址： | 100084 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电涡流传感器，所述电涡流传感器包括磁芯，所述磁芯的垂直于磁芯高度方向的截面为矩形截面；和线圈，所述线圈沿所述矩形截面的周向缠绕在所述磁芯的外周壁上。根据本发明实施例的电涡流传感器同时高灵敏度和高径向分辨率，其较大的探测区域可以包含更多的芯片图案和特征，这样就缩小了因芯片图案密度变化所带来的方差，从而使硅片膜厚度的测量更为精确。 | ||
| 搜索关键词： | 涡流 传感器 | ||
【主权项】：
一种电涡流传感器，其特征在于，包括：磁芯，所述磁芯的垂直于磁芯高度方向的截面为矩形截面；和线圈，所述线圈沿所述矩形截面的周向缠绕在所述磁芯的外周壁上。
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