[发明专利]金属有机化学气相沉积设备及其腔室组件

摘要

本发明提出了一种金属有机化学气相沉积设备及其腔室组件。该腔室组件包括：腔室本体，所述腔室本体包括反应腔室，且所述腔室本体还包括用于向所述反应腔室供气的进气通道和用于从所述反应腔室排出气体的排气通道；和设置于所述反应腔室内的第一托盘和第二托盘，且所述第一托盘的晶片承载面与所述第二托盘的晶片承载面相对。本发明实施例通过在反应腔中设置晶片承载面相对的两个托盘，可以极大地提高反应腔容量和气体利用率，从而提高生产效率，降低生产成本。

主权项

一种腔室组件，其特征在于，包括：腔室本体，所述腔室本体包括反应腔室，且所述腔室本体还包括用于向所述反应腔室供气的进气通道和用于从所述反应腔室排出气体的排气通道；和设置于所述反应腔室内的第一托盘和第二托盘，且所述第一托盘的晶片承载面与所述第二托盘的晶片承载面相对。