[发明专利]一种利用莫尔条纹调整全息光栅曝光光路中准直光的方法

摘要

一种利用莫尔条纹调整全息光栅曝光光路中准直光的方法，属于光谱技术领域中涉及的全息光栅曝光光路中调整准直光的方法。要解决的技术问题是：提供一种利用莫尔条纹调整全息光栅曝光光路中准直光的方法。技术方案为：步骤一，建立一套激光扩束准直装置；步骤二，将一个平面反射镜和一个平面光栅置入步骤一所建立的激光扩束准直装置中的准直光束区域内并组成洛艾镜干涉装置；步骤三，调整平面反射镜和准直光的夹角以及平面光栅和平面反射镜的夹角，使平面光栅表面出现莫尔条纹；步骤四，调整准直镜与空间滤波器之间的距离使平面光栅表面的莫尔条纹为直线。该方法能准确调整准直光束的准直度，对制作出高质量的全息光栅有直接的重要意义。

主权项

一种利用莫尔条纹调整全息光栅曝光光路中准直光的方法，其特征在于：步骤一，配备一套激光扩束准直装置，包括光源激光器(1)、第一平面反射镜(2)、第二平面反射镜(3)、空间滤波器(4)、准直镜(5)；光源激光器(1)发出的激光束经第一平面反射镜(2)和第二平面反射镜(3)反射到达空间滤波器(4)，激光束经过空间滤波器(4)后成为发散的球面光波，球面光波的中心光线与准直镜(5)的光轴重合，球面光波经准直镜(5)透射成为准直光束；步骤二，将第三平面反射镜(6)和平面光栅(7)置入激光扩束准直装置中的准直光束区域内，使第三平面反射镜(6)和平面光栅(7)垂直从而组成洛艾镜干涉装置，使准直光束的一部分直接照射在平面光栅(7)上，准直光束的另一部分经第三平面反射镜(6)反射后照射在平面光栅(7)上，准直光束的两部分相交叠的空间区域形成干涉场(8)；步骤三，使由第三平面反射镜(6)和平面光栅(7)组成的洛艾镜干涉装置在水平面内旋转，通过改变第三平面反射镜(6)与准直光束的夹角θ从而改变干涉条纹周期，根据莫尔条纹的形成原理，当干涉条纹的周期与平面光栅(7)的光栅常数相等时就能够在平面光栅(7)表面观察到莫尔条纹，若此时莫尔条纹不是直线形条纹则说明准直光束的准直度不好；步骤四，调整准直镜(5)与空间滤波器(4)之间的距离，同时观察平面光栅(7)表面的莫尔条纹的变化，当莫尔条纹变为直线形条纹时则说明此时干涉条纹的线性度很好，即准直光束的波前为平面波前，至此全息光栅曝光光路中所使用的准直光束的准直度调整完毕。