[发明专利]溅镀装置无效
| 申请号： | 201010600676.6 | 申请日： | 2010-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN102534515A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 王仲培 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种溅镀装置，其包括一个中空的本体及容置于所述本体内的一个承载装置、一个驱动装置。所述本体包括相对的一个顶板及一个底板。所述承载装置包括一个圆环料架、一个圆环基座及多个料杆。所述圆环料架固定在所述顶板上，且由至少一个可挠性的组装板连接而成。所述圆环基座转动设置于所述底板上，且与所述圆环料架同轴设置。所述多个料杆沿所述圆环基座的轴向设置，沿所述圆环基座的圆周方向排布，并连接所述圆环料架及所述圆环基座。所述驱动装置与所述圆环基座及所述料杆连接，用于驱动所述圆环基座及所述料杆分别绕其自身的中心轴旋转。本发明的溅镀装置的圆环料架由至少一个可挠性的组装板连接，从而减少开模费用，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
一种溅镀装置，其包括一个中空的本体及容置于所述本体内的一个承载装置、一个驱动装置，所述本体包括相对的一个顶板及一个底板，所述承载装置包括一个圆环料架、一个圆环基座及多个料杆，所述圆环料架设置在所述顶板上，所述圆环基座转动设置于所述底板上，且与所述圆环料架同轴设置，所述多个料杆沿所述圆环基座的轴向设置，沿所述圆环基座的圆周方向排布，并连接所述圆环料架及所述圆环基座，所述驱动装置与所述圆环基座及所述料杆连接，用于驱动所述圆环基座及所述料杆沿其自身的中心轴旋转，所述圆环料架由至少一个可挠性的组装板连接而成。
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