[发明专利]激光加工方法与激光加工装置以及太阳能电池板制造方法

摘要

本发明是有关于激光加工方法与激光加工装置以及太阳能电池板制造方法。本发明可以尽可能地降低玻璃基板的形变的影响，使玻璃基板能在保持一定状态的姿势下移动。在将基板搬送至加工位置时，保持气浮的基板的沿搬送方向的两侧边，对其中一侧的边进行固定性保持，而对其中另一侧的边仅在与基板表面垂直的方向进行限制性保持。即，对另一侧的边进行保持，使它仅难以沿垂直方向移动，而基板可在沿其表面的二维方向上移动。这样，可极力降低基板的形变的影响。作为限制基板移动的方法，可使用空气射流、加压控制、滚珠轴承等。

主权项

一种激光加工方法，其特征在于：在将方形的基板搬送至激光加工位置时，对所述基板的沿搬送方向的边的其中一侧的边，分别在与所述基板表面垂直的方向、及沿所述基板表面的二维方向进行固定性保持，对所述基板的沿搬送方向的边的另一侧的边，在与所述基板表面垂直的方向进行限制性保持，且在沿所述基板表面的二维方向进行可动性保持以进行搬送。