[发明专利]步进电机的控制方法和装置、匹配器及等离子体加工设备有效
| 申请号： | 201010600930.2 | 申请日： | 2010-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN102545750A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 叶华;宗令蓓;王一帆 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H02P8/14 | 分类号： | H02P8/14;H02P8/36;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 张天舒;陈源 |
| 地址： | 100015 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种步进电机的控制方法和装置、匹配器及等离子体加工设备，该控制方法包括：获取步进电机的当前控制周期的算法旋转方向；获取预设控制周期维数和基于该预设控制周期维数的历史控制周期的算法旋转方向；并根据所述当前控制周期的算法旋转方向、历史控制周期的算法旋转方向以及预设控制周期维数，获取所述步进电机的实际旋转方向，并以该实际旋转方向控制所述步进电机进行旋转。该控制方法可以减少步进电机正、反转切换次数，从而减少步进电机的丢步和失步现象，以及提高步进电机的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 步进 电机 控制 方法 装置 配器 等离子体 加工 设备 | ||
【主权项】：
一种步进电机的控制方法，其特征在于，包括：获取步进电机的当前控制周期的算法旋转方向；获取预设控制周期维数和基于该预设控制周期维数的历史控制周期的算法旋转方向；并根据所述当前控制周期的算法旋转方向、历史控制周期的算法旋转方向以及预设控制周期维数，获取所述步进电机的实际旋转方向，并以该实际旋转方向控制所述步进电机进行旋转。
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