[发明专利]镀膜件及其制备方法无效
申请号: | 201010602266.5 | 申请日: | 2010-12-23 |
公开(公告)号: | CN102560342A | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 张新倍;陈文荣;蒋焕梧;陈正士;马楠 | 申请(专利权)人: | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/06 | 分类号: | C23C14/06;C23C14/35;C23C14/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供一种镀膜件及其制备方法。该镀膜件包括铝合金基体及形成于铝合金基体表面的防腐蚀层,该防腐蚀层为一氮化钛硅的复合膜层。一种镀膜件的制备方法,其包括如下步骤:提供一铝合金基体;采用真空溅镀法在该铝合金基体上溅镀防腐蚀层,该防腐蚀层为氮化钛硅的复合膜层;溅镀该防腐蚀层以钛硅复合靶为靶材,以氮气为反应气体。所述的镀膜件具有良好的耐腐蚀性能、高硬度及良好的耐磨性能。 | ||
搜索关键词: | 镀膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种镀膜件,其包括铝合金基体及形成于铝合金基体上的防腐蚀层,其特征在于:该防腐蚀层为一氮化钛硅的复合膜层。
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