[发明专利]一种晶棒角度测量台无效
| 申请号： | 201010603274.1 | 申请日： | 2010-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN102109475A | 公开（公告）日： | 2011-06-29 |
| 发明（设计）人： | 王树林;宋志鹏;张伟展;杨志杰;周波;刘春春 | 申请（专利权）人： | 江苏大学 |
| 主分类号： | G01N23/207 | 分类号： | G01N23/207 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 汪旭东 |
| 地址： | 212013 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于机械加工领域，提供了一种石英晶棒角度的测量装置，用于在晶片加工过程中对利用X射线，确定晶体断面的晶体学取向和参考面取向，具有方便、快速、易操作的特点。本发明包括晶棒挡板（1），晶棒支撑板（3），底部支座（4），晶棒挡板（1）为长度150-155mm、宽度70-75mm、高10-12mm的方板，晶棒挡板（1）在中部开有楔形方空的方板，通过增加了晶棒挡板的长度，从而保证了晶棒在被测量时的稳定性，减小了因晶棒可能产生的摆动而造成的测量误差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 角度 测量 | ||
【主权项】：
一种晶棒角度测量台, 包括晶棒挡板（1），晶棒支撑板（3），底部支座（4），其特征在于：所述晶棒挡板（1）为长度150‑155mm、宽度70‑75mm、高10‑12mm的方板，晶棒挡板（1）在中部开有楔形方空的方板；楔形方孔下边离晶棒挡板下底边40mm，方孔长为10 mm、宽为10mm，并且在方孔延平板长度方向开有楔形面；晶棒支撑板（3）的上沿与楔形方孔下边在同一高度。
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