[发明专利]电动真空阀的排气速度控制方法、排气速度控制系统及阀开度设定点决定方法有效
| 申请号： | 201010603574.X | 申请日： | 2010-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN102169352A | 公开（公告）日： | 2011-08-31 |
| 发明（设计）人： | 内藤正博;西垣绿;吉安一智;伊藤慎;梅泽俊祐 | 申请（专利权）人： | 喜开理株式会社 |
| 主分类号： | G05D16/02 | 分类号： | G05D16/02 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 高培培;车文 |
| 地址： | 日本爱知*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供能够以使腔室的压力与目标压力降斜率接近的方式简单且低价地设定切换电动真空阀的阀开度的设定点的电动真空阀的排气速度控制方法、排气速度控制系统及阀开度设定点决定方法。将电动真空阀(21)的阀开度按照等比倍数阶段性地进行控制，在各阀开度下利用真空泵(13)从粘性流区域进行排气，利用压力传感器(15)测定腔室的真空压力以实测出压力降曲线(Y1、Y2、Y3、Y4)以后，使压力降曲线(Y1、Y2、Y3、Y4)以与目标压力降斜率X近似的方式在时间上偏移，将压力降曲线彼此的交点决定为切换电动真空阀(21)的阀开度的设定点(P11、P12、P13)，其后，基于设定点(P11、P12、P13)切换电动真空阀(21)的阀开度，控制粘性流区域中的排气速度。 | ||
| 搜索关键词： | 电动 真空 排气 速度 控制 方法 控制系统 阀开度设 定点 决定 | ||
【主权项】：
一种电动真空阀的排气速度控制方法，通过控制配设在将腔室与真空泵连接的排气配管系统中的电动真空阀的阀开度来控制排气速度，其特征在于，包括：压力实测工序，将所述电动真空阀的阀开度按照等比倍数阶段性地进行控制，在各阀开度下利用所述真空泵从粘性流区域进行排气，利用压力传感器测定所述腔室的真空压力以实测压力降曲线；排气速度决定工序，使在所述压力实测工序中实测到的按阀开度区分的所述压力降曲线以与目标压力降斜率近似的方式在时间上偏移，将所述压力降曲线彼此的交点决定为对所述电动真空阀的阀开度进行切换的设定点；和真空压力控制工序，基于在所述排气速度决定工序中决定的所述设定点对所述电动真空阀的阀开度进行切换，控制所述粘性流区域中的所述排气速度。
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