[发明专利]半导体缺陷信号抓取与统计系统及方法

摘要

本发明涉及一种半导体缺陷信号抓取与统计系统及方法，该系统包括在线监控装置、缺陷信号分析装置、缺陷信息库和缺陷信息统计装置，所述的缺陷信号分析装置包括缺陷信号解析单元、缺陷信号抓取单元和缺陷信息队列，所述的缺陷信号抓取单元包括顺序检测子单元、迭代检测子单元、归组检测子单元、重叠检测子单元和未定义信号检测子单元。由于在本发明所提供的方法中，未被抓取的半导体晶圆会再经由缺陷信号抓取单元的各子单元的检测，提升了半导体晶圆缺陷模式的匹配概率，减少了误报和漏报，从而提高了缺陷信号抓取的准确度和完整度，以使本发明的半导体缺陷信号抓取与统计方法可以基本取代现有技术中的人工检测方法，降低半导体生产成本。

主权项

一种半导体缺陷信号抓取与统计系统，包括在线监控装置，其特征在于，所述的系统还包括缺陷信号分析装置、缺陷信息库和缺陷信息统计装置，所述的缺陷信号分析装置分别与在线监控装置、缺陷信息库和缺陷信息统计装置相连接，所述的缺陷信息库中包含有数个预设的缺陷信号模式，所述的缺陷信号分析装置包括缺陷信号解析单元、缺陷信号抓取单元和缺陷信息队列，所述的缺陷信号抓取单元包括顺序检测子单元、重叠检测子单元、迭代检测子单元、归组检测子单元和未定义信号检测子单元。