[发明专利]互连线电迁移寿命的确定方法有效
| 申请号： | 201010604728.7 | 申请日： | 2010-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN102116828A | 公开（公告）日： | 2011-07-06 |
| 发明（设计）人： | 唐逸;周伟;任铮;冯程程 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 201210 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供互连线电迁移寿命的确定方法，包括：选择至少三种不同线宽的互连线，所述至少三种不同线宽的互连线均在同一确定工艺条件下形成；测试每种线宽互连线不同结构的失效时间，利用统计分布得到每种线宽互连线相应的平均失效时间；根据black方程，得到确定温度、确定电流密度时，每种线宽互连线的归一化寿命；利用二次多项式，拟合得到互连线归一化寿命与线宽的二次函数关系式；通过所述二次函数关系式对应的曲线，得到最坏情况下的电迁移寿命，从而得到该最坏情况下的电迁移寿命对应的线宽。采用此发明方法可以精确评估该互连线最坏情况下的电迁移寿命，并为开发金属工艺提供重要信息。 | ||
| 搜索关键词： | 互连 迁移 寿命 确定 方法 | ||
【主权项】：
互连线电迁移寿命的确定方法，其特征在于，包括如下步骤：选择至少三种不同线宽的互连线，所述至少三种不同线宽的互连线均在同一确定工艺条件下形成；测试每种线宽互连线不同结构的失效时间，利用统计分布得到每种线宽互连线相应的平均失效时间；根据black方程，得到确定温度、确定电流密度时，每种线宽互连线的归一化寿命；利用二次多项式，拟合得到互连线归一化寿命与线宽的二次函数关系式；通过所述二次函数关系式对应的曲线，得到最坏情况下的电迁移寿命，从而得到该最坏情况下的电迁移寿命对应的线宽。
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