[发明专利]快速热退火方法有效
| 申请号： | 201010605225.1 | 申请日： | 2010-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN102560025A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 周祖源 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华科技有限公司 |
| 主分类号： | C21D1/26 | 分类号： | C21D1/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种快速热退火方法，该方法至少包括一个快速升温步骤及在所述快速升温步骤之后依次进行的四个缓速升温步骤，所述快速升温步骤的升温速度为45□/秒，所述四个缓速升温步骤的升温速度依次逐渐减小。相较于现有技术的两步升温步骤，本发明是将快速热退火菜单结构更改优化，增加了适当步数的升温步骤，将总体的升温过程进行了截割，逐步降低了升温速度，不易产生温度过热现象，也方便了对整个过程的热预算的计算和比较。 | ||
| 搜索关键词： | 快速 退火 方法 | ||
【主权项】：
一种快速热退火方法，其特征在于：该方法至少包括一个快速升温步骤及在所述快速升温步骤之后依次进行的四个缓速升温步骤，所述快速升温步骤的升温速度为45℃/秒，所述四个缓速升温步骤的升温速度依次逐渐减小。
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