[发明专利]一氧化钛仿金纳米薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种一氧化钛仿金纳米薄膜的制备方法。该方法制备的薄膜厚度在450nm左右，薄膜外观显示美丽的金黄色，为单一TiO晶型，颗粒粒径小、分布均匀。本发明中具有高效快速，对环境无污染的特点。仿金纳米薄膜具有理想的装饰效果，可望应用于高级仿金材料，并可用于仪器仪表等诸多领域。

主权项

一种一氧化钛仿金纳米薄膜的制备方法，其特征在于该方法包括以下步骤：A、清洗：将玻璃、硅片或不锈钢片清洗干净、干燥，作为基片；B、置样：将基片放置在真空磁控溅射镀膜装置中样品架上；C、抽本底真空：抽本底真空至4×10‑3Pa～7.6×10‑3Pa；D、等离子体清洗基片表面：在反应腔室中通入Ar气(99.99％)，355～70sccm，使腔室压强为2.0Pa，启动转架；打开脉冲偏压电源，偏压值为600V，占空比为50％；产生等离子体清洗基片表面20min。E、溅射镀膜：调小Ar气气流量至50～85sccm。溅射所用靶材为99％Ti靶；开启溅射电源，溅射电流值为5～12A，溅射功率为2.6～2.9KW，开启脉冲偏压电源调节偏压值为200～800V，占空比20％～50％。2～5min后通入O2气流量为15～25sccm，溅射压强值为3.0～4.5×10‑1Pa，镀膜1～4小时；F、关机：关闭加热，关闭偏压及溅射电源，调小气流量，关闭气体，关机。