[发明专利]一种晶硅铸锭炉热场热门控制装置无效
申请号: | 201010607129.0 | 申请日: | 2010-12-27 |
公开(公告)号: | CN102021644A | 公开(公告)日: | 2011-04-20 |
发明(设计)人: | 赵波;王琤;徐芳华;任晓坜;高波;张瀛 | 申请(专利权)人: | 绍兴县精功机电研究所有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06;C30B35/00 |
代理公司: | 浙江翔隆专利事务所 33206 | 代理人: | 张建青 |
地址: | 312030 浙江省绍兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种晶硅铸锭炉热场热门控制装置。现有的晶硅铸锭炉热场热门控制方法中,有的方法可以做好初期的成核及能耗控制,而有的方法能保证后期的晶体生长速度,目前没有能达到两者完美结合的方法。本发明的特征在于所述绝热笼的下方设有一水冷板,该水冷板与绝热笼的底部之间设有多个纵向设置的百叶片,每个百叶片上贯穿一纵向设置的转动轴,所有的转动轴与一驱动机构连接,所有百叶片的轴接点位于同一水平线上,当所有的百叶片转动至水平位置时,所述的百叶片形成一将绝热笼底部封闭的平面板。本发明采用百叶结构来控制热门的开合,使铸锭过程更加容易控制,既能保持低能耗的晶体生长,同时又能充分利用散热面积。 | ||
搜索关键词: | 一种 铸锭 炉热场 热门 控制 装置 | ||
【主权项】:
一种晶硅铸锭炉热场热门控制装置,包括绝热笼、置于绝热笼内的加热器和热交换台,其特征在于:所述绝热笼的下方设有一水冷板,该水冷板与绝热笼的底部之间设有多个纵向设置的百叶片,每个百叶片上贯穿一纵向设置的转动轴,所有的转动轴与一驱动机构连接,所有百叶片的轴接点位于同一水平线上,当所有的百叶片转动至水平位置时,所述的百叶片形成一将绝热笼底部封闭的平面板。
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