[发明专利]具有硬质涂层的被覆件及其制备方法无效
| 申请号： | 201010607202.4 | 申请日： | 2010-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN102560347A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 张新倍;陈文荣;蒋焕梧;陈正士;彭立全 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有硬质涂层的被覆件，包括硬质基体、形成于该基体上的结合层及形成于该结合层上的硬质涂层，该硬质涂层的组成为TiXAlYMZN，其中X、Y及Z分别表示Ti、Al及M的原子个数百分比，M为Sc或Dy，X+Y+Z＝1，35％≤X≤45％，0.01％≤Z≤1％。本发明还提供一种通过磁控溅射方法制备上述被覆件的方法。本发明具有硬质涂层的被覆件硬度高，具有较好的耐磨性能和高温抗氧化性能。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 硬质 涂层 被覆 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种具有硬质涂层的被覆件，包括硬质基体，其特征在于：该被覆件还包括形成于该基体上的结合层及形成于该结合层上的硬质涂层，该硬质涂层的组成为TiXAlYMZN，其中X、Y及Z分别表示Ti、Al及M的原子个数百分比，M为Sc或Dy，X+Y+Z＝1，35％≤X≤45％，0.01％≤Z≤1％。
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