[发明专利]带绒面导电氧化锌薄膜的晶体硅太阳能电池及其制造方法

摘要

一种带绒面导电氧化锌薄膜的晶体硅太阳能电池及其制造方法，制造方法包括：在电池衬底表面扩散PN结；在所述PN结表面生长本征氧化锌高阻层；在所述本征氧化锌高阻层上制备一层低阻氧化锌薄膜；用稀酸溶液腐蚀所述低阻氧化锌薄膜表面，形成月球坑状的绒面陷光结构；印刷焊点和背场；烧结形成电池片。由于透明导电膜同时可担任正电极，完全克服了传统电池栅线不透明阻挡受光面积的缺点，增大太阳能电池的受光面积。同时透明导电膜替代了传统钝化层，简化了工艺，另外在制绒方面以稀盐酸湿法腐蚀氧化锌，仅需30秒左右，药液的消耗也明显减少，从而降低了成本提高了生产效率。

主权项

一种带绒面导电氧化锌薄膜的晶体硅太阳能电池的制作方法，至少包括以下步骤：在电池衬底表面扩散PN结；在所述PN结表面生长本征氧化锌高阻层；在所述本征氧化锌高阻层上制备一层低阻氧化锌薄膜；用稀酸溶液腐蚀所述低阻氧化锌薄膜表面，形成具有月球坑状的绒面陷光结构的低阻氧化锌绒面薄膜；印刷引线电极和背场；烧结形成电池片。