[发明专利]一种DLC/TiAlN/CrN/Cr多层超硬膜涂层及其制备方法无效
| 申请号： | 201010608461.9 | 申请日： | 2010-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN102080207A | 公开（公告）日： | 2011-06-01 |
| 发明（设计）人： | 韩培刚 | 申请（专利权）人： | 深圳市广大纳米工程技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518172 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于汽车发动机活塞环表面处理的类金刚石/氮化铝钛/氮化铬/铬(DLC/TiAlN/CrN/Cr)多层超硬膜涂层，该多层超硬膜涂层采用多弧离子镀与磁控溅射相结合技术制备而得，制备的多层超硬膜厚度在5～20μm(微米)之间，涂层硬度大于40GPa。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 dlc tialn crn cr 多层 超硬膜 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一DLC/TiAlN/CrN/Cr多层超硬膜涂层的制备方法，其特征在于，包括：步骤1：在基体上制得厚度为0.1～0.5μm的金属Cr层；步骤2：在上述步骤1制得的该Cr层上进一步制得厚度为0.1～0.5μm的CrN层；步骤3：在上述步骤2所制得该CrN层上进一步制得厚度为0.1～0.5μm的TiAlN层；步骤4：依次周期性重复该步骤1到该步骤3制得厚度为0.5～1μm的该TiAlN/CrN/Cr多层涂层；和步骤5：在该步骤4所得到的该TiAlN/CrN/Cr多层涂层上进一步制得厚度为0.2～1.0μm的DLC膜。
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