[发明专利]具有窗口加热结构的基板处理装置有效
| 申请号： | 201010612998.2 | 申请日： | 2010-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN102148126A | 公开（公告）日： | 2011-08-10 |
| 发明（设计）人： | 孙亨圭 | 申请（专利权）人： | 丽佳达普株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及的具有窗口加热结构的基板处理装置中，由于以喷射加热空气的方式加热窗口，因此，能够防止在窗口上堆积腔室内的副产物，具有可提高蚀刻装置可靠性的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 窗口 加热 结构 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种具有窗口加热结构的基板处理装置，其特征在于，包括：腔室，执行基板处理工艺；窗口，设置在上述腔室的上部，并且由绝缘体构成，以便在腔室内部和天线之间起到耦合作用；加热管，配置在上述窗口的上部，向上述窗口的上表面喷射加热空气来加热窗口；加热空气供给机构，向上述加热管供给加热空气。
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