[发明专利]一种投影光刻机的硅片台微旋转机构无效
| 申请号： | 201010613756.5 | 申请日： | 2010-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN102087485A | 公开（公告）日： | 2011-06-08 |
| 发明（设计）人： | 胡淘;胡松;邢薇;徐文祥 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 梁爱荣 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明是一种投影光刻机中的硅片台微旋转机构，它包括拉簧、硅片台、止推轴承、基座、调节螺栓、螺纹副；调节螺栓被固定在位于基座的螺纹副上，调节螺栓的前端为球型，拉簧的左端套在硅片台上，拉簧的右端挂在基座上，硅片台始终与调节螺栓保持接触。本发明能够对投影光刻机中的硅片台进行精确的角度调整，以满足光刻机的套刻精度要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 投影 光刻 硅片 旋转 机构 | ||
【主权项】：
一种投影光刻机中的硅片台微旋转机构，其特征在于包括：拉簧(1)、硅片台(2)、基座(4)、调节螺栓(5)和螺纹副(6)；硅片台(2)位于止推轴承(3)上，调节螺栓(5)被固定在基座(4)的螺纹副(6)内，拉簧(1)的左端套在硅片台(2)的弹簧拉杆上，拉簧(1)的右端挂在基座(4)上，调节螺栓(5)的前端顶在硅片台(2)的手轮顶杆上。
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