[发明专利]二极管用玻璃钝化工艺

摘要

本发明公开了一种二极管用玻璃钝化工艺，以玻璃为钝化材料，包括晶圆涂附，晶圆切割，晶粒酸洗，配制玻璃浆用溶剂，配制玻璃浆，晶粒接点面钝化及晶粒金属化，本发明有益效果在于，利用低温缓慢酸洗腐蚀来保证切割面的正角，常规的开沟腐蚀会造成切割面的负角及一定角度的倾斜坡度，无法完成钝化玻璃的包封，即使包封成功，良品率及可靠性能都会很低。

主权项

二极管用玻璃钝化工艺，以玻璃为钝化材料，其特征在于，由以下步骤构成：a.晶圆涂附：在晶圆表面涂附光阻剂；b.晶圆切割：将上述a步骤中得到的晶圆切割成晶粒；c.晶粒酸洗：将上述b步骤中得到的晶粒放入滚篮内，放入混合酸腐蚀液中进行腐蚀，转动滚篮，将腐蚀温度控制在‑5℃～0℃，腐蚀时间控制在300s～500s，酸洗后去除表面杂质；d.配制玻璃浆用溶剂：将乙基纤维素和丙酮稀释剂的投料为：1g∶5ml～1g∶20ml，将配置好的混合液放在烧杯中加热搅拌溶解，制得所需的玻璃浆用溶剂；e.配制玻璃浆：将步骤(3)中制得的玻璃浆用溶剂和铅系玻璃粉按3ml∶5g比例倒入茄形瓶中进行搅拌，制得所需的玻璃浆；f.晶粒接点面钝化：上述c步骤中得到的晶粒，将其切割面涂附玻璃浆，将其放置到石英舟内，将预烧温度控制在575～585℃，加热20min，进行第一段预烧，调整炉温，将炉温升高至820℃，加热20min；g.晶粒金属化：上述d步骤中得到的晶粒，将其表面镀上金属膜，形成所需的产品；上述步骤c中所述的混合酸腐蚀液，由硝酸、氢氟酸和冰乙酸组成，所述的硝酸、氢氟酸和冰乙酸按体积比计，投料比为9∶9∶12；上述步骤d中所述的玻璃浆，由乙基纤维素和丙酮稀释剂组成，所述的乙基纤维素和丙酮稀释剂按体积比计，投料比为5∶18。