[发明专利]晶片抛光装置无效
| 申请号： | 201010614109.6 | 申请日： | 2010-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN102152218A | 公开（公告）日： | 2011-08-17 |
| 发明（设计）人： | 奚耀华;夏澍;刘启栋 | 申请（专利权）人： | 青岛嘉星晶电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02 |
| 代理公司： | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人： | 巩同海 |
| 地址： | 266114 山东省青岛市*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种光电子信息技术领域，特别涉及一种用于蓝宝石衬底晶片的晶片抛光装置。为解决晶片抛光加工中均匀性差，精度不高，经常出现塌边现象等问题，本发明提供了一种晶片抛光装置，其技术方案是：一种晶片抛光装置，包括绕轴线旋转带有抛光面的旋转抛光台，用于固定保持晶片的晶片保持件，加压装置，驱动晶片保持件自旋及产生径向往复运动的驱动机构。本发明不仅可以减小晶片线速度的差异，提高了晶片的平整度，而且避免了装置长时间运转可能导致的抛光液中固体颗粒在晶片表面的堆积，从而避免了因晶片的厚度内外不均匀而引起的塌边现象，另外本发明采用了多个晶片保持件同时带动多晶片的抛光方式，大大提高了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 晶片 抛光 装置 | ||
【主权项】：
一种晶片抛光装置，其特征在于，包括带有抛光面的旋转抛光台(101)，能绕其轴线旋转；用于固定保持所述晶片(112)的晶片保持件(102)；通过所述晶片保持件(102)将所述晶片(112)压向所述旋转抛光台(101)抛光面的加压装置(103)；用于驱动所述晶片保持件(102)自旋及产生径向往复运动的驱动机构(104)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于青岛嘉星晶电科技股份有限公司，未经青岛嘉星晶电科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010614109.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：固体药物组合物
- 下一篇：带制动功能的电磁离合器
