[发明专利]多晶硅坩埚烧结炉有效
| 申请号： | 201010614198.4 | 申请日： | 2010-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN102021660A | 公开（公告）日： | 2011-04-20 |
| 发明（设计）人： | 孙国飞;陈辉;张鹏铭;朱鑫峰;张玮;徐飞;吴建飞 | 申请（专利权）人： | 绍兴精功机电有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 浙江翔隆专利事务所 33206 | 代理人： | 戴晓翔 |
| 地址： | 312028 浙江省绍兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种多晶硅坩埚烧结炉，它包括炉体，与炉体相配合的移动式台车，设置在炉体内的加热系统和排湿冷却系统，与加热系统和排湿冷却系统电气控制连接的电气控制系统，其特征在于所述炉体包括骨架，设置在骨架内壁的保温层结构，所述保温层结构包括纳米保温板。本发明具有突出的实质性特点：增设纳米保温板，保温效果好，保温层结构中的其他保温层厚度可以大为减少，从而减少了炉壁自身的蓄热，使炉子的升温和强制风冷降温的效率，大为提高缩短了生产周期；同时，提高了生产效率、达到节能效果。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 坩埚 烧结炉 | ||
【主权项】：
多晶硅坩埚烧结炉，包括炉体（1），与炉体（1）相配合的移动式台车（2），设置在炉体（1）内的加热系统和排湿冷却系统，与加热系统和排湿冷却系统电气控制连接的电气控制系统，其特征在于所述炉体包括骨架（3），设置在骨架内壁的保温层结构，所述保温层结构包括纳米保温板（4）。
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