[发明专利]蓝光光盘母盘制造系统及方法

摘要

本发明公开了一种蓝光光盘母盘制造系统，包括清洗装置、旋涂装置、硬烘烤装置、冷却装置、软烘烤装置、激光刻录装置、显影装置、电镀装置、水平直线传输装置、机械手及两水平平行设置的直线导轨，水平直线传输装置与两导轨滑接，电镀装置、显影装置、清洗装置及旋涂装置沿直线导轨依次排列设置在直线导轨的一侧，硬烘烤装置、软烘烤装置及冷却装置沿直线导轨依次设置排列在直线导轨的另一侧，激光刻录装置排列设置于直线导轨远离硬烘烤装置的一端，机械手抓取母盘，水平直线传输装置带动机械手沿直线导轨传送母盘至相应装置中，本发明的蓝光光盘母盘制造系统布局合理、能提高成品质量、优化生产线，本发明同时公开了一种蓝光光盘母盘的制造方法。

主权项

一种蓝光光盘母盘制造系统，包括清洗装置、旋涂装置、硬烘烤装置、冷却装置、软烘烤装置、激光刻录装置、显影装置及电镀装置，其特征在于：还包括水平直线传输装置、机械手及两相互平行且水平设置的直线导轨，所述水平直线传输装置与两所述直线导轨滑动连接，所述机械手固定安装在所述水平直线传输装置上，所述电镀装置、显影装置、清洗装置及旋涂装置沿所述直线导轨方向依次排列设置在所述直线导轨的一侧，所述硬烘烤装置、软烘烤装置及冷却装置沿所述直线导轨方向依次设置排列在所述直线导轨的另一侧，所述激光刻录装置排列设置于所述直线导轨远离所述硬烘烤装置的一端，所述机械手抓取母盘，所述水平直线传输装置带动所述机械手沿直线导轨传送母盘至相应装置中。