[发明专利]一种光刻机台的控制装置及方法无效
| 申请号： | 201010614732.1 | 申请日： | 2010-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN102540966A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 詹祥宇;李劲 | 申请（专利权）人： | 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/18 | 分类号： | G05B19/18;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 郭润湘 |
| 地址： | 100871 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光刻机台的控制装置及方法，其中装置包括：光刻机台控制模块，用于根据需要进行光刻操作的产品的描述信息，查找与该产品的描述信息对应的光刻机台控制信息；根据查找到的光刻机台控制信息，确定各光刻工步应使用的光刻机台；制造执行模块，用于根据光刻机台控制模块确定的光刻机台对该产品进行光刻工艺操作。本发明实施例提供的光刻机台的控制装置及方法，在对产品进行光刻操作之前，用户可针对不同光刻工艺要求的产品，预先设置与其对应的光刻机台控制信息，进而能够实现对不同的光刻机台，选择使用适宜其光刻工艺要求的光刻机台进行光刻，提高了对产品进行光刻的光刻机台选择的灵活性并相应地提高了光刻的准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 机台 控制 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种光刻机台的控制装置，其特征在于，包括：光刻机台控制模块，用于根据需要进行光刻操作的产品的描述信息，查找与所述产品的描述信息对应的光刻机台控制信息；根据查找到的光刻机台控制信息，确定各光刻工步应使用的光刻机台；制造执行模块，用于根据所述光刻机台控制模块确定的光刻机台对所述产品进行光刻工艺操作。
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