[发明专利]一种用于提高电镀均匀性的阳极有效
申请号: | 201010615300.2 | 申请日: | 2010-12-30 |
公开(公告)号: | CN102021638A | 公开(公告)日: | 2011-04-20 |
发明(设计)人: | 马国宏 | 申请(专利权)人: | 东莞市宏德电子设备有限公司 |
主分类号: | C25D17/12 | 分类号: | C25D17/12 |
代理公司: | 东莞市华南专利商标事务所有限公司 44215 | 代理人: | 张明 |
地址: | 523776 广东省东莞市黄江镇*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供了一种用于提高电镀均匀性的阳极,该阳极在阳极的两端分别有一个与电源正极相连的接入点,同时,在阳极的中间至少还包括一个与电源正极连接的接入点。本发明提供的阳极的不同位置的电位基本处在同一水平,电位差小,阳极的不同位置到阴极的电压基本相等,从而提高电镀的均匀性;另外,本发明提供的优选阳极既有铜的优良导电性又有外部钛层优异的耐腐蚀性,具有很长的工作寿命,同时大大降低了能耗且不会对电镀液造成污染。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 提高 电镀 均匀 阳极 | ||
【主权项】:
一种用于提高电镀均匀性的阳极,在阳极的两端分别设有一个与电源正极相连的接入点,其特征在于:在阳极的中间至少还包括一个与电源正极连接的接入点。
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