[发明专利]图案化BiFeO3薄膜的光刻自组装制备方法

摘要

本发明公开了一种图案化BiFeO3薄膜的光刻自组装制备方法，该方法包括下述制备步骤：步骤一：选用普通载玻片为基底，将切割好的玻璃基片分别超声波清洗，吹干；紫外光照射仪中照射；步骤二：将经紫外光照射后的玻璃基片置于OTS-甲苯溶液中浸泡，使基片表面形成一层OTS单分子膜；浸泡完成后用丙酮清洗，吹干，烘干；在光掩膜的覆盖下，在紫外光下照射，得到图案化的功能自组装薄膜；步骤三：配制BiFeO3前驱体溶液，并将图案化的功能自组装薄膜的OTS-SAMs基体置于前驱液中，沉积，超声波震荡清洗，退火，即得光刻自组装的图案化BiFeO3薄膜。该方法通过采用液相沉积法与光刻自组装技术相结合来制备BiFeO3图案化薄膜，该薄膜边缘轮廓清晰、与基底结合牢固。

主权项

一种图案化BiFeO3薄膜的光刻自组装制备方法，其特征在于，该方法包括下述制备步骤：(1)选用普通载玻片为基底，将切割好的玻璃基片分别超声波清洗，吹干；并将洁净的玻璃基片置于紫外光照射仪中照射10‑20min；(2)将经紫外光照射后的玻璃基片置于体积百分比浓度1％十八烷基三氯硅烷OTS‑甲苯溶液中，在室温条件下浸泡20‑40min，使基片表面形成一层OTS单分子膜；浸泡完成后用丙酮清洗2‑3min，并用氮气吹干，之后在110‑130℃烘3‑5min；然后将OTS‑SAMs基体在光掩膜的覆盖下，在紫外光下照射30‑40min，得到图案化的功能自组装薄膜；(3)配制BiFeO3前驱体溶液，并将图案化的功能自组装薄膜的OTS‑SAMs基体竖直置于配制好的前驱液中，在60‑80℃下保温7‑8h，沉积结束后用超声波震荡清洗，之后将薄膜在550‑620℃退火2‑3h，即得光刻自组装的图案化BiFeO3薄膜。