[发明专利]一种利用光刻在PDMS上直接形成图形的方法

摘要

一种利用光刻在PDMS上直接形成图形的方法，其特征在于它包括如下步骤：①由PDMS基体和固化剂混合形成PDMS混合剂；②将苯甲酮晶体溶解于二甲苯中，形成苯甲酮溶液；在PDMS中加入苯甲酮，形成对紫外光敏感的PDMS；③先将玻璃片用硫酸双氧水混合液浸泡，再分别用丙酮、甲醇和去离子水浸泡和冲洗干净，而后用氮气吹干；④使用紫外灯对其进行曝光；⑤曝光后，进行后烘，PDMS未曝光的部分被固化，PDMS曝光的部分保持原来的状态；⑥将未固化的PDMS用甲苯浸泡去除；将玻璃片用异丙醇冲洗干净，后用氮气吹干；完成图形的形成。本发明为一种新颖的低成本、快速、简单的工艺，实现了在PDMS上直接制作图形。

主权项

一种利用光刻在PDMS上直接形成图形的方法，其特征在于它包括如下步骤：①由PDMS基体和固化剂按10∶1混合形成PDMS混合剂；②将苯甲酮晶体溶解于二甲苯中，形成苯甲酮溶液；在PDMS中加入苯甲酮，形成对紫外光敏感的PDMS；把这种混合液称作光敏PDMS；③先将玻璃片用硫酸双氧水混合液浸泡12分钟，再分别用丙酮、甲醇和去离子水浸泡和冲洗干净，而后用氮气吹干；④将光敏PDMS旋涂在玻璃片上，把光刻所用光刻铬掩膜板置于玻璃片之上，在铬板和玻璃片之间保持一定的空隙；使用紫外灯对其进行曝光；曝光的紫外波长＜365nm，时间10分钟；⑤曝光后，将玻璃片在120℃下进行后烘，固化时间40‑120秒，经过后烘，PDMS未曝光的部分被固化，PDMS曝光的部分保持原来的状态；⑥将未固化的PDMS用甲苯浸泡3‑5秒进行去除；之后，将玻璃片用异丙醇冲洗干净，后用氮气吹干；完成图形的形成。