[发明专利]一种区分材料二次电子和背散射电子的测试装置有效
| 申请号： | 201010617890.2 | 申请日： | 2010-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN102109477A | 公开（公告）日： | 2011-06-29 |
| 发明（设计）人： | 陈益峰;李存惠;柳青 | 申请（专利权）人： | 中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所 |
| 主分类号： | G01N23/22 | 分类号： | G01N23/22;G01N23/203;G01R19/00 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 杨志兵;张利萍 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种区分材料二次电子和背散射电子的测试装置，属于空间应用技术领域。所述装置包括光栏，法拉第筒，电流收集极、绝缘垫、阻滞栅网和样品台；光栏位于电子发射装置的电子射出口，光栏中间有一小孔；法拉第筒可以自由移动，测量电子时位于光栏后方，测量完毕后即撤出所述装置；电流收集极、绝缘垫和阻滞栅网组成中心有一通孔的半圆弧，阻滞栅网和电流收集极分别为半圆弧的内、外侧，绝缘垫分别位于所述通孔的左右两侧，将左、右部分电流收集极和阻滞栅网分别连接起来；样品台位于所述半圆弧底部与通孔相对处。所述装置可区分一次电子与材料作用后产生的二次电子和背散射电子，还有分析二次电子和背散射电子能谱的功能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 区分 材料 二次电子 散射 电子 测试 装置 | ||
【主权项】：
一种区分材料二次电子和背散射电子的测试装置，其特征在于：所述装置包括光栏(2)，法拉第筒(3)，电流收集极(4)、绝缘垫(5)、阻滞栅网(6)和样品台(7)；其中，光栏(2)位于电子发射装置的电子射出口处，光栏(2)中间有一小孔正对电子射出方向；法拉第筒(3)可以自由移动，对电子进行测量时位于光栏(2)后方，正对光栏(2)上小孔电子射出处，测量完毕后即撤出所述装置；电流收集极(4)、绝缘垫(5)和阻滞栅网(6)共同组成一个中心有一通孔的半圆弧，电流收集极(4)构成半圆弧的外侧，阻滞栅网(6)构成半圆弧的内侧，绝缘垫(5)分别位于所述通孔的左右两侧，将左半部分电流收集极(4)和阻滞栅网(6)连接起来，将右半部分电流收集极(4)和阻滞栅网(6)连接起来；样品台(7)位于所述半圆弧的底部与通孔相对处；其中，光栏(2)上小孔的直径为1～5mm，控制通过的电子束斑大小，所述电束斑小于样品材料的面积；绝缘垫(5)由绝缘材料制成；光栏(2)、电流收集极(4)、阻滞栅网(6)均由金属材料制成。
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