[发明专利]用于大气环境下电子束等离子体的诊断探针及诊断方法有效
| 申请号： | 201010620044.6 | 申请日： | 2010-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN102135628A | 公开（公告）日： | 2011-07-27 |
| 发明（设计）人： | 余虔;谭畅;邓永锋 | 申请（专利权）人： | 中国航天科技集团公司第六研究院第十一研究所 |
| 主分类号： | G01T1/29 | 分类号： | G01T1/29 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 王少文 |
| 地址： | 710100 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于大气环境下电子束等离子体的诊断探针及诊断方法，其中诊断探针，包括朗缪尔探针，其特征在于：还包括设置在朗缪尔探针表面的氮化钛薄膜。本发明克服现有等离子体诊断技术在大气环境下难以准确、可靠获得电子束等离子体特性的难题，提供一种用于大气环境下电子束等离子体的诊断探针及诊断方法，可以在大气环境下对任意区间的高能电子束流进行测量，并获得电子能谱，从而实现等离子体的特性诊断。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 大气环境 电子束 等离子体 诊断 探针 方法 | ||
【主权项】：
用于大气环境下电子束等离子体的诊断探针，包括朗缪尔探针，其特征在于：还包括设置在朗缪尔探针表面的氮化钛薄膜。
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