[发明专利]脉冲光信号发生装置无效
| 申请号： | 201010621208.7 | 申请日： | 2010-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN102540753A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 唐文力;王海江 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种脉冲光信号发生装置，包括激光光源，产生连续可见光；第一孔径光阑，分布至少一个通光孔；第二孔径光阑，与第一孔径光阑相匹配；运动电机系统，驱动第二孔径光阑和第一孔径光阑绕光轴旋转，使第二孔径光阑相对于第一孔径光阑运动。通过该装置，对连续可见光进行幅值调制和频率调制，转换为符合光刻装置光电传感器测试需求的脉冲光信号，简单方便，解决了光刻装置同轴对准系统中光电传感器测试难度大、成本高的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 脉冲 信号 发生 装置 | ||
【主权项】：
一种脉冲光信号发生装置，其特征在于，包括：激光光源，产生连续可见光；第一孔径光阑，所述第一孔径光阑上分布至少一个通光孔；第二孔径光阑，与第一孔径光阑相匹配；运动电机系统，驱动第二孔径光阑和第一孔径光阑绕光轴旋转，使第二孔径光阑相对于第一孔径光阑运动，周期性地让上述可见光，部分通过所述第一孔径光阑及第二孔径光阑，形成脉冲光。
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