[发明专利]用于深紫外激光退火的三片式加热片台扫描装置有效
| 申请号： | 201010621831.2 | 申请日： | 2010-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN102163540A | 公开（公告）日： | 2011-08-24 |
| 发明（设计）人： | 周卫;严利人;刘朋;窦维治 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H01L21/00 | 分类号： | H01L21/00;H01L21/268 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 史双元 |
| 地址： | 100084 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了属于半导体制造设备范围的涉及半导体超浅结制造中的一种用于深紫外激光退火的三片式加热片台扫描装置。该加热片台扫描装置采用A加热片台、B加热片台和C加热片台连接成品字型加热片台，旋转托盘放置在该品字型加热片台上，该加热片台扫描装置可以沿X和Y方向做匀速或步进式移动，当对C加热片台上的圆片实现激光退火扫描时，A、B加热片台上的圆片被预加热。从而减少了圆片达到热平衡状态的等待时间。圆片是通过一个可旋转的托盘依次在A、B、C三个加热片台上逆时针切换，减少了圆片转移过程中的温度分布变化，提高了设备利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 深紫 激光 退火 三片式 加热 扫描 装置 | ||
【主权项】：
一种用于深紫外激光退火的三片式加热片台扫描装置，其特征在于，A加热片台(2)、B加热片台(3)和C加热片台(4)连接成品字型加热片台，旋转托盘(5)放置在该品字型加热片台上；品字型加热片台通过托盘旋转传动轴(17)固定在X1电动平移台(14)上台面上，X1电动平移台(14)下台面与X方向平移台(10)固定，X1电动平移台驱动电机(11)固定在X方向平移台(10)一端；R1电动旋转机构(15)分别与托盘旋转传动轴(17)和驱动电机(16)连接；Y方向Y1电动平移台(6)和Y方向Y2电动平移台(8)分别通过Y1电动平移台滑轨(12)和Y2电动平移台滑轨(13)固定在X方向平移台(10)下面两端；Y1电动平移台驱动电机(7)固定在Y方向Y1电动平移台(6)一端、Y2电动平移台驱动电机(9)固定在Y方向Y2电动平移台(8)一端；深紫外脉冲激光光束扫描定位中心点(1)位于C加热片台附近。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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