[发明专利]用于支撑衬底的单元和用于使用该单元来处理衬底的设备有效
| 申请号： | 201010624115.X | 申请日： | 2010-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN102184880A | 公开（公告）日： | 2011-09-14 |
| 发明（设计）人： | 尹靑龙;金容锡;辛在爀;金光寿 | 申请（专利权）人： | AP系统股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 臧建明 |
| 地址： | 韩国京畿道*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开一种衬底支撑单元，其包含：静电卡盘单元，其经配置为可移动的并支撑衬底；以及连接部件，其一端连接到静电卡盘单元以向静电卡盘单元供应电力，连接部件经配置以根据静电卡盘单元的移动而灵活地改变形状。连接部件包含：柔性管，其经配置以界定内部空间；以及导电线，其插入至柔性管中且其一端连接到静电卡盘单元。由于导电线插入柔性管中，因此该连接部件的移动性增加。因此，连接到静电卡盘单元的连接部件的形状根据静电卡盘单元的上下移动或旋转而灵活地改变。因此，静电卡盘单元可顺畅地移动。另外，由于连接部件的形状是柔性的，因此可在无位置和区域限制的情况下安装该连接部件。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 支撑 衬底 单元 使用 处理 设备 | ||
【主权项】：
一种衬底支撑单元，其包括：静电卡盘单元，其经配置为可移动的并支撑衬底；以及连接部件，其一端连接到所述静电卡盘单元以向所述静电卡盘单元供应电力，所述连接部件经配置以根据所述静电卡盘单元的移动而灵活地改变形状，其特征在于所述连接部件包括：柔性管，其经配置以界定内部空间；以及导电线，其插入至所述柔性管中且其一端连接到所述静电卡盘单元。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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