[实用新型]真空镀膜硅醚罐的水浴加热装置无效
| 申请号： | 201020049854.6 | 申请日： | 2010-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN201605315U | 公开（公告）日： | 2010-10-13 |
| 发明（设计）人： | 范家秋 | 申请（专利权）人： | 浙江天翀车灯集团有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C23C16/00;B01L7/02 |
| 代理公司： | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 | 代理人： | 王官明 |
| 地址： | 318020 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 真空镀膜硅醚罐的水浴加热装置，包括硅醚罐，硅醚罐中盛有硅醚，硅醚罐上安装法兰盖板，法兰盖板中制有出气口，出气口连通真空腔体，其特征在于所述的硅醚罐外有加热容器，加热容器底部有电加热板，加热容器与硅醚罐之间盛有水，加热容器上有加水口，加热容器壁上有观察法兰和观察窗。主要发明点在于硅醚罐外有盛水的加热容器，加热容器的底部有加热板，由加热板对容器中的水加热，将水温传递到硅醚罐，使硅醚受热气化，流向真空腔体用于镀膜，一是使硅醚罐内气体加热均匀稳定；二是气体受热面积大，挥发性能好；三是气体受热温度不超过100度，保证镀膜质量。观察窗以便观察罐内的硅醚含量，观察窗可以上下各一个。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 硅醚罐 水浴 加热 装置 | ||
【主权项】：
真空镀膜硅醚罐的水浴加热装置，包括硅醚罐(1)，硅醚罐中盛有硅醚(2)，硅醚罐(1)上安装法兰盖板(9)，法兰盖板(9)中制有出气口(14)，出气口连通真空腔体，其特征在于所述的硅醚罐(1)外有加热容器(15)，加热容器(15)底部有电加热板(7)，加热容器(15)与硅醚罐(1)之间盛有水(4)，加热容器(15)上有加水口(8)，加热容器(15)壁上有观察法兰和观察窗(3、5)。
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