[实用新型]单晶炉同心水冷电极有效
| 申请号： | 201020101816.0 | 申请日： | 2010-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN201588009U | 公开（公告）日： | 2010-09-22 |
| 发明（设计）人： | 何晔;佘建军;李金;何根华;陈川贵;刘建军;邓学文;付昌禄;彭华东;喻正祥 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第二十六研究所 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;H05B6/42 |
| 代理公司： | 重庆博凯知识产权代理有限公司 50212 | 代理人： | 李海华 |
| 地址： | 400060 *** | 国省代码： | 重庆;85 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及单晶炉同心水冷电极，包括作为电极的两铜管，其中一根铜管套在另一根铜管上，外铜管和内铜管之间设有绝缘密封套；所述外铜管为两端封闭的双层结构，两层之间形成环状的冷却水通道，在外铜管外壁上设有与冷却水通道连通的进水铜管和出水铜管。本实用新型由于电源的输入和输出管路同心，两根管路产生的磁场也同心，故同心水冷电极能有效的降低两铜管间的自感叠加量，有效抑制电极周围磁场与四周炉体的感应发热，减小能量浪费。同时，由于避免了局部发热现象，炉膛内温场均匀，从而更利于提高晶体质量。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉 同心 水冷 电极 | ||
【主权项】：
单晶炉同心水冷电极，包括作为电极的两铜管，其特征在于：其中一根铜管套在另一根铜管上，套在外面的铜管为外铜管，套在里面的铜管为内铜管，外铜管(1)和内铜管(2)之间设有绝缘密封套(3)；所述外铜管(1)为两端封闭的双层结构，两层之间形成环状的冷却水通道(4)，在外铜管(1)外壁上设有与冷却水通道连通的进水铜管(5)和出水铜管(6)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国电子科技集团公司第二十六研究所，未经中国电子科技集团公司第二十六研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201020101816.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
