[实用新型]平面光波导分路器芯片

摘要

本实用新型涉及一种平面光波导分路器芯片，属于光无源器件领域。一种平面光波导分路器芯片，包括：基片、沉积于基片上的波导芯层、沉积于波导芯层上的上包层以及蚀刻于波导芯层内的光路，所述光路的输入、输出端设置有与裸纤匹配的输入定位槽和输出定位槽。本实用新型解决平面光波导型分路器生产中的设备昂贵、工艺复杂、产能不高等问题，在平面光波导芯片的输入输出光路上蚀刻与裸光纤匹配的定位槽，在光分路器的生产中，将光纤直接接入平面光波导芯片，并用紫外固化胶粘结并固化，最后用金属包装固定，从而完成整个光分路器的制作。

主权项

一种平面光波导分路器芯片，包括：基片(1)、沉积于基片(1)上的波导芯层(2)、沉积于波导芯层(2)上的上包层(3)以及蚀刻于波导芯层(2)内的光路(5)，其特征是：所述光路(5)的输入、输出端设置有与裸纤匹配的输入定位槽(6)和输出定位槽(7)。