[实用新型]多晶硅铸锭炉改进型热场结构

摘要

本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉内的设备，具体指多晶硅铸锭炉改进型热场结构，包括：顶部隔热板、周边隔热体、底部隔热板、电极、连接块、加热板、热交换块、立柱、吊杆、坩埚、炉体。周边隔热体用吊杆悬挂于炉体中，热交换台由数根支柱支撑，上面设置了坩埚、电极、连接块、加热板、顶部隔热板，支柱上还固定了底部隔热板。吊杆与炉体是滑动配合，可拉动周边隔热体作升降运动，以关闭和开启热场，在整个热场中，形成一个垂直的温差梯度。通过控制散热与加热，使得多晶硅的结晶凝固分界面逐步上移，在垂直方向创造一个调控自如的温度梯场，生产长晶良好的、高品质多晶硅大型铸锭。

主权项

多晶硅铸锭炉改进型热场结构，包括顶部隔热板(1)、周边隔热体(2)、底部隔热板(3)、电极(4)、连接块(5)、加热板(6)、热交换块(7)、立柱(8)、吊杆(9)、坩埚(10)、炉体(12)，其特征在于：所述的周边隔热体(2)用吊杆(9)悬挂于炉体(12)中，热交换台(7)由数根支柱(8)支撑，热交换块(7)上设置了坩埚(10)、电极(4)、顶部隔热板(1)，支柱(8)上还固定了底部隔热板(3)。