[实用新型]一种基于解耦机构的精密运动平台有效
| 申请号： | 201020126600.X | 申请日： | 2010-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN201792208U | 公开（公告）日： | 2011-04-13 |
| 发明（设计）人： | 王敕 | 申请（专利权）人： | 王敕 |
| 主分类号： | B23Q1/74 | 分类号： | B23Q1/74 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518033 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及用于半导体封装、精密加工、生物医药加工、光学及图像对准等领域的一种基于解耦机构的精密运动平台，包含有X轴直线电机、Y轴伺服电机、Y轴前置运动导轨、升降滑板、Y轴载具平台、Y轴运动传动部件、Y轴后置运动导轨、Y轴后置运动滑板和从动滚轮。本实用新型X方向运动采用直线电机驱动，不需任何中间转换机构的传动装置，没有传统滚珠丝杠传动中存在的反向间隙和摩擦力，具有更好的重复定位精度。X轴和Y轴运动采用解耦设计，系统刚性与有效负载比传统堆砌式设计更大。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 机构 精密 运动 平台 | ||
【主权项】：
一种基于解耦机构的精密运动平台，包括X轴直线电机模组和Y轴伺服电机模组，其特征在于：X轴直线电机模组由底座、铁芯、磁铁阵列和X轴运动导轨组成；Y轴伺服电机模组由Y轴伺服电机、Y轴前置运动导轨、升降滑板、Y轴载具平台、联轴器、滚珠丝杠、角接触轴承、Y轴后置运动导轨、Y轴后置运动滑板和从动滚轮组成。
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