[实用新型]一种龙门式硅片转移机构

摘要

本实用新型涉及一种龙门式硅片转移机构。该硅片转移机构包括机架以及安装在机架上的输送台、升降装置和移动吸盘装置，机架上固定有台面板，台面板上安装有龙门架；输送台安装在台面板上，输送台包括左输送装置和右输送装置，左输送装置和右输送装置分别用于运输并定位硅片盒和石英框；升降装置安装在龙门架上，升降装置上设有升降座，移动吸盘装置安装在升降座上，升降装置用于带动移动吸盘装置上下升降；移动吸盘装置上设有片式吸盘，移动吸盘装置可以控制片式吸盘左右横向移动，片式吸盘用于吸取硅片盒内的硅片并将吸取的硅片转移至石英框内。本实用新型结构简单、巧妙合理、自动化程度高、硅片转移效率高、损坏率低。

主权项

一种龙门式硅片转移机构，其特征在于包括机架(1)以及安装在机架(1)上的输送台、升降装置和移动吸盘装置，机架(1)上固定有台面板(2)，台面板(2)上安装有龙门架(26)；输送台安装在台面板(2)上，输送台包括左输送装置和右输送装置，左输送装置和右输送装置分别用于运输并定位硅片盒(16)和石英框(27)；升降装置安装在龙门架(26)上，升降装置上设有升降座(22)，移动吸盘装置安装在升降座(22)上，升降装置用于带动移动吸盘装置上下升降；移动吸盘装置上设有片式吸盘(18)，移动吸盘装置可以控制片式吸盘(18)左右横向移动，片式吸盘(18)用于吸取硅片盒(16)内的硅片(17)并将吸取的硅片(17)转移至石英框(27)内。