[实用新型]匀胶机电机旋转台无效
| 申请号： | 201020137961.4 | 申请日： | 2010-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN201628841U | 公开（公告）日： | 2010-11-10 |
| 发明（设计）人： | 王卫华;王伟民;赵付超;张飞特;杜民栋;崔晓改;张建军 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第二研究所 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 山西科贝律师事务所 14106 | 代理人： | 张乐中 |
| 地址： | 030024 *** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种匀胶机电机旋转台，解决了现有匀胶机电机旋转台维护困难，使用寿命缩短的问题。包括方形台板(1)、旋涂台下板(3)、盛胶盘嵌套(4)、盛胶盘(5)和旋转电机输出轴(7)，方形台板(1)与旋涂台下板(3)之间设置有盛胶盘嵌套(4)，在盛胶盘嵌套(4)中镶嵌设置有盛胶盘(5)，在盛胶盘(5)下方的盛胶盘嵌套(4)和旋涂台下板(3)上设置有排风孔(6)，旋转电机输出轴(7)从旋涂台下板(3)的中央通孔和盛胶盘嵌套(4)的中央通孔通过伸到盛胶盘(5)中，在旋转电机输出轴(7)的端部套接有凸台保护套(8)。提高了均胶机的电机的使用寿命，保证了电机旋转过程中动平衡性能。 | ||
| 搜索关键词： | 机电 旋转 | ||
【主权项】：
一种匀胶机电机旋转台，包括中央设置有圆形孔的方形台板(1)、中央设置有通孔的旋涂台下板(3)、中央底部设置有通孔的盛胶盘嵌套(4)、中间底部设置有通孔的盛胶盘(5)和旋转电机输出轴(7)，其特征在于，在所述的方形台板(1)与旋涂台下板(3)之间设置有盛胶盘嵌套(4)，在盛胶盘嵌套(4)中镶嵌设置有盛胶盘(5)，方形台板(1)与旋涂台下板(3)是通过四个固定螺栓(2)连接在一起，在盛胶盘(5)下方的盛胶盘嵌套(4)和旋涂台下板(3)上设置有排风孔(6)，旋转电机输出轴(7)从旋涂台下板(3)的中央通孔和盛胶盘嵌套(4)的中央通孔通过伸到盛胶盘(5)中，在旋转电机输出轴(7)的端部设置有真空螺钉(9)，在真空螺钉(9)上吸附有晶圆片(10)，在伸入旋涂台下板(3)的中央通孔内的旋转电机输出轴(7)的端部套接有凸台保护套(8)。
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