[实用新型]一种单晶炉真空管路有效
| 申请号： | 201020138697.6 | 申请日： | 2010-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN201665726U | 公开（公告）日： | 2010-12-08 |
| 发明（设计）人： | 郜勇军;郑裕财;夏安阳 | 申请（专利权）人： | 浙江矽盛电子有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B35/00 |
| 代理公司： | 杭州天正专利事务所有限公司 33201 | 代理人： | 舒良 |
| 地址： | 324300 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种单晶炉真空管路，该单晶炉真空管路包括真空计与抽气管道，真空计通过软管与抽气管道相接。采用本实用新型，由于真空计通过软管连接抽气管道，单晶炉中水管产生的水凝不会直接滴到真空计上，同时，在清扫时不会碰到真空计，因此间接提高了真空计的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 真空 管路 | ||
【主权项】：
一种单晶炉真空管路，包括真空计与抽气管道，其特征在于真空计通过软管与抽气管道相接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江矽盛电子有限公司，未经浙江矽盛电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201020138697.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
